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    本公司主要產品有2BV水環式真空泵,2BE水環式真空泵SK水環式真空泵等高質量真空泵設備

    爪型干式真空泵

    • 產品名稱: 爪型干式真空泵
    • 產品分類: 爪型干式真空泵
    • 公司名稱: 淄博雙飛真空泵制造有限公司
    • 添加時間: 14/09/27
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    爪型干式真空泵(又簡稱干式機械泵)是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內無油或其他工作介質,而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。
    爪型干式真空泵的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:
    1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
    2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
    3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;
    4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
    5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。


    爪型干式真空泵產品熱銷城市:江蘇,廣東,浙江,北京,上海
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